STR 排氣 CONDENSER 機改 将机台端Exhaust管路中之Mist-Box，从原来的「滤网式」改良成「水冷式」，可有效降低Chemical 被Exhaust抽走，造成浪费。藉由提高chemical回收率，降低TOK的单片用量，达到Cost Down 及减废的效果。 档案下载 回上一页
