STR 排氣 CONDENSER 機改 將機台端Exhaust管路中之Mist-Box，從原來的「濾網式」改良成「水冷式」，可有效降低Chemical 被Exhaust抽走，造成浪費。藉由提高chemical回收率，降低TOK的單片用量，達到Cost Down 及減廢的效果。 档案下载 回上一页
