AVM (Automatic Virtual Metrology)

典型加工精度量测方式: 离机量测/机上量测

• 离机量测缺点: 量测延迟，反应速度慢，难实时发现质量问题，可能导致大量废品
• 机上量测缺点: 量测过程占用加工时间，减少机台效率

虚拟量测优势

• 提供实时、在线的加工精度预测
• 效率高于离机量测，成本低于机上量测
• 可将脱机且延迟之质量抽检转变为在线且实时之质量全检

AVM所带来的效益

• 提升精确度：高质量的数据和精确的预测模型，提升虚拟量测的准确度
• 实时预测：支持实时预测，快速调整模型以适应生产变化。
• 降低故障率：透过信心指标和制程参数相似度指标及时调整异常参数，降低机台故障率
• 提高生产效率：减少对实际量测的依赖，降低生产监控成本，提升效率
• 技术水准提升：提升产业技术水平，实现质量全检
• 实现自动化：达到最高自动化层级，支持全厂自动化应用
• 获得认可：获得许多国内外重要奖项，证明其技术创新性和有效性
• 经济效益：提高良率和生产效率，降低成本，增加利润

 导入 AVM 关键及应用

• [收集因]，透过装设的传感器在线实时地收集会影响品管项目之质量的所有重要因素
• [收集果]，具备(建构或更新AVM模型所须之)实际量测仪器，且抽测完后能将实际量测值以电子传递(如网络等)之方式，自动送到AVM系统
• 物料追踪之机制以便能建立上述两项信息的因果关系
• 应用于半导体、TFT LCD等高科技产业、太阳能电池产业