氣體沉相剝膜系統(MVD)
氣體沉相剝膜系統(MVD)
-
高效熱氣相剝膜技術
利用高溫氣體反應，快速、低污染地移除晶圓表面薄膜，適用於先進製程。 -
高耐壓腔體設計
腔體耐壓規格達 100 PSI，滿足各種製程環境需求。 -
精密溫濕度控制
精確調控腔體內溫濕條件，確保剝膜過程穩定性。 -
防呆安全機構
腔體門配置防呆設計，降低人為失誤，提升作業安全。 -
外部防燙設計
有效隔絕高溫區域，保障操作人員安全與提升設備可用。 -
高度客製化服務
可依客戶製程條件與應用需求，打造專屬系統解決方案。