AVM (Automatic Virtual Metrology)

典型加工精度量測方式: 離機量測/機上量測

• 離機量測缺點: 量測延遲，反應速度慢，難即時發現品質問題，可能導致大量廢品
• 機上量測缺點: 量測過程占用加工時間，減少機台效率

虛擬量測優勢

• 提供即時、線上的加工精度預測
• 效率高於離機量測，成本低於機上量測
• 可將離線且延遲之品質抽檢轉變為線上且即時之品質全檢

AVM所帶來的效益

• 提升精確度：高品質的數據和精確的預測模型，提升虛擬量測的準確度
• 即時預測：支援即時預測，快速調整模型以適應生產變化。
• 降低故障率：透過信心指標和製程參數相似度指標及時調整異常參數，降低機台故障率
• 提高生產效率：減少對實際量測的依賴，降低生產監控成本，提升效率
• 技術水準提升：提升產業技術水平，實現品質全檢
• 實現自動化：達到最高自動化層級，支援全廠自動化應用
• 獲得認可：獲得許多國內外重要獎項，證明其技術創新性和有效性
• 經濟效益：提高良率和生產效率，降低成本，增加利潤

導入 AVM 關鍵及應用

• [收集因]，透過裝設的感測器線上即時地收集會影響品管項目之品質的所有重要因素
• [收集果]，具備(建構或更新AVM模型所須之)實際量測儀器，且抽測完後能將實際量測值以電子傳遞(如網路等)之方式，自動送到AVM系統
• 物料追蹤之機制以便能建立上述兩項資訊的因果關係
• 應用於半導體、TFT LCD等高科技產業、太陽能電池產業