軟件功能說明
• 數據採集
-即時採集並更新設備當前數據。
• 即時上報
-依CIM系統通訊格式，更新狀態、生產數據。
-採集警報/事件資訊，實時通知CIM系統。
-核對出/入料資訊，並將結果傳回現場掃描設備告知操作人員。
• 製程追蹤
-入料後追蹤目前各Chamber生產狀態、數據、片號等資訊。
• 數據映射/綁定
-可配合CIM系統綁定SVID/ECID/ALID等數據映射至設備對應的點位(Tag)。
-可依綁定事件帶入相關資訊發送至CIM。
• 紀錄查詢
-配置日志查詢頁面，可分別查詢交握日志、生產日誌、警報/事件日誌等