STR 排氣 CONDENSER 機改 將機台端Exhaust管路中之Mist-Box,從原來的「濾網式」改良成「水冷式」,可有效降低Chemical 被Exhaust抽走,造成浪費。藉由提高chemical回收率,降低TOK的單片用量,達到Cost Down 及減廢的效果。 Download Back