Coating stage 鍍膜改造 j 利用雷射鍍膜機於花崗岩的PC stage上產生薄膜 k 採用薄膜厚度 7um 薄膜花樣為 斜紋間距 3mm l 鍍膜前後將 stage 分成 5個 area 進行粗糙度量測 m 比較前後值 確認鍍膜後表面粗糙度提升 Download Back